簡(jiǎn)要描述:PS180 HANBELL 漢鐘干式螺旋真空泵 的詳細(xì)介紹真空泵浦 (Vacuum Pump)也可寫(xiě)為真空幫浦或是真空泵浦。漢鐘精機(jī)PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對(duì)互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子 ,在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)腔體內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑,因而無(wú)油氣回漏污染的問(wèn)題。透過(guò)線(xiàn)形良好的密封效果,壓力可達(dá)7.5 × 10-3 Torr。
漢鐘PS干式螺桿真空泵,廣泛應(yīng)用于
·面板TFT-LCD,Touch Panel
·太陽(yáng)能Solar
·冶金系統(tǒng)Metallurgical System
·鍍膜Coating
·電漿制程sma processes
·干燥處理Drying Process
·制程氣體抽取Degassing
·生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
·化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
漢鐘各種型號(hào):PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/
PD120/PD300/PD400/PD650/PD800
主要特點(diǎn):
排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積
干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵,因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑短,不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。
線(xiàn)形密封性佳,泵浦性能優(yōu)
轉(zhuǎn)子密封線(xiàn)形,轉(zhuǎn)子密封性佳,轉(zhuǎn)子能以較大的咽合間隙達(dá)到的抽氣效果,由于咽合間隙較大,泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障率低,維修容易
螺旋式真空泵因只需利用一對(duì)轉(zhuǎn)子互相咽合達(dá)到密封效果,結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì),降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純,拆解維修也較容易,因此能縮短維修時(shí)程降低維修費(fèi)用。
微電腦操作,遠(yuǎn)端監(jiān)控,保護(hù)周全
東莞市崇友真空機(jī)電有限公司承接中國(guó)臺(tái)灣螺旋式漢鐘真空泵PS系列真空泵維修